薄膜电容的"自愈"(Self-healing）指：当介质某点因过电压发生击穿时，击穿点周围的金属化层会瞬间蒸发气化，形成绝缘隔离区，电容恢复功能而不短路。这是薄膜电容的关键安全特性-﹣确保失效模式为开路而非短路，避免火灾或触电。